M470第四代扫描探针系统

M470*的平衡了高扫描率、高分辨率和高精度建立了解决空间电化学测量的全新标准。

       出色的性能:

       快速精确的闭环定位系统为带你花些扫描探针那墨迹研究的需求而特别设计。结合Uniscan堵车的混合型32-bitDAC技术，用户可以选择审核实验研究的佳配置。

       *、灵活的工作平台:

       系统可提供9种探针技术，使得M470成为灵活的电弧写扫描探针工作平台。

M470 定位系统:

       超高分辨率扫描平台允许更长的行进距离

M470全新一代扫描平台挤成了更高的分辨率、更长的行进距离以及扫描速率。

新交流扫描（ac-）和间歇接触（ic-）扫描探针技术，提供压电为在Z轴方便精确定位，以探表面形貌。

采用20-bitDAC控制压电范围以及控制定位到0.09nm，M470增强了重复性、加快了扫描速度、缩短了测试样品时间，这使得M470可以应用于非稳态系统的研究。

M470产品特征：

 SECM 自动处理曲线
 SECM用户自定义处理曲线步长变化
 高分辨读取
 手动或自动调节相位
 倾斜校正
 X或Y曲线相减（5阶多项式））
 2D 或3D快速傅里叶变化
 试验探针移动和区域绘图的自动排序
 图形实验测序引擎（GESE）
 支持多区域扫描
 所有实验多个数据视图
 峰值分析

M470技术参数

工作站（所有技术）

扫描范围（x,y,z）              大于100nm

扫描驱动分辨率                 高0.1nm

闭环定位                           线性零滞后编码器，直接实时读出x,z和y位移

轴分辨率（x,y,z）             20nm

大扫描速度                    12.5mm/s

测量分辨率                       32-bit解码器@高达40MHz

压电（ic-和ac-扫描探针技术）

振动范围                          20nm~ 2μm峰与峰之间1nm增量

小振动分辨率                0.12nm(16-bit DAC,4μm)

压电晶体伸展                   100μm

定位分辨率                      0.09nm(20-bit DAC ,100μm)

机电

扫描前端                         500×420×675mm(H×W×D)

扫描控制单元                  275×450×400mm(H×W×D)

功率 250W