岛津场发射电子探针EPMA-8050G

岛津场发射电子探针EPMA-8050G 开创新纪元

——的空间分辨率与超高灵敏度的*结合

“The Grand EPMA” 诞生

搭载*场发射电子光学系统将岛津EPMA分析性能发挥到致。

从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有空间分辨率的*场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至致。

当之无愧的 “The Grand EPMA” ，高水准的EPMA诞生！

[性能特点]

● 的空间分辨率

电子探针可达到的高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV），分析条件下的二次电子分辨率。

（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

● 大束流超高灵敏度分析

实现3.0μA（加速电压30kV）的大束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑。

● 高性能X射线谱仪

秉承岛津电子探针颇具优势的52.5°X射线取出角。采用4英寸罗兰圆半径的分光晶体兼顾高灵敏度与高分辨率。可同时搭载5通道高性能X射线谱仪。分析性能更胜*。

● 全部分析操作简单易懂

全部操作仅靠一个鼠标就可进行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。

◎实现微区超高灵敏度分析的*技术

1 高亮度肖特基发射体

岛津场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更

大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析*的稳

定大电流。

2 EPMA电子光学系统

电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜

形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可

变光阑透镜来形成交叉点的（日本利：第4595778号）。简单的透镜结

构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定合适的打开角度，将电子

束压缩到细。当然是不需要更换物镜光阑的。

3 超高真空排气系统

电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2

级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到小，以控制流入中

间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。

4 高灵敏度X射线谱仪

岛津场发射电子探针多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。

52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线

的吸收，实现高灵敏度的分析。